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      1. 600系列光刻機 —— IC前道制造


        SSA600/20

        SSC600/10

        SSB600/10

        SSX600系列步進掃描投影光刻機采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應調焦調平技術,以及高速高精的自減振六自由度工件臺掩模臺技術,可滿足IC前道制造90nm、110nm、280nm關鍵層和非關鍵層的光刻工藝需求。該設備可用于8寸線或12寸線的大規模工業生產。
           主要技術參數

        型號 SSA600/20 SSC600/10 SSB600/10
        分辨率 90nm 110nm 280nm
        曝光光源 ArF excimer laser KrF excimer laser i-line mercury lamp
        鏡頭倍率 1:4 1:4 1:4
        硅片尺寸 200mm或300mm 200mm或300mm 200mm或300mm

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