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      1. 半導體產線搬運機器人 —— 智能片盒運輸/搬運


        ATR500

        APR500

        APR500片盒搬運機器人,可自動搬運兩個12寸FOUP(兼容8寸片盒),實現端到端全自動搬運。ATR500物料運輸機器人,可兼容多種半導體工廠物料,在工廠不同區域進行運輸。機器人配置了多重安全保障功能,尤其適用于人機協作環境;多項創新技術有效提升機器人使用效率;可根據客制化需求,為用戶提供工廠搬運整體解決方案。
           產品特征

        ● 靈活性高

        ● 適用于高凈化等級廠房

        ● 運載量大

        ● 操作簡便

        ● 物料可追溯

        ● 安全性高

           主要技術參數

        型號

        ATR500 

        APR500 

        運載容量

        12個8寸滿載片盒或4個12寸滿載FOUP

        2個12寸滿載FOUP

        引導方式

        激光智能引導

        激光智能引導

        移動速度

         最高1.3 m/s(可配置)

         最高1.3 m/s(可配置)

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