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      1. 長短寸測量設備 —— 長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量


        SOM245/10

        SOM255/10

        SOM200系列長短寸測量設備配合光刻機,用于長寸測量兼容短寸和光刻膠膜厚測量。
           產品特征

        ● 多功能測量,長寸測量同時兼容CD/Overlay測量及光刻膠膜厚測量

        ● 高測量精度,CD測量重復性30nm,TP測量重復性280nm,滿足高分辨率光刻的測量需求

        ● 高測量效率,采用橋式結構,更穩定更高速

        ● 高效的溫度控制系統

        ● 快速靈活的客制化服務

           主要技術參數

         型號

        SOM245/10 

         SOM255/10

         CD測量重復性

         30nm@3Sigma

         30nm@3Sigma

        CD測量復現性

        50nm@3Sigma 

         50nm@3Sigma

         TP測量重復性

         280nm@3Sigma

        300nm@3Sigma

         TP測量復現性

        400nm@3Sigma 

        450nm@3Sigma

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