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      1. 300系列光刻機 —— LED、MEMS、Power Devices制造


        SSB300

        SSB380

        SSB320

        SSB300系列步進投影光刻機面向6英寸以下中小基底先進光刻應用領域,滿足HB-LED、MEMS和Power Devices等領域單面或雙面光刻工藝需求。
           產品特征

        ● 高分辨率,分辨率可達0.8μm

        ● 高速在線MAPPING技術

        ● 高精度拼接

        ● 多尺寸基底自適應切換

        ● 高產能

        ● 高精度套刻

        ● 完美匹配ALIGNER

           主要技術參數
         型號  SSB300  SSB320  SSB380
         分辨率  0.8μm 2μm  1.5μm
         曝光光源  i-line mercury lamp  i-line mercury lamp i-line mercury lamp
         基底尺寸 100/150 mm 100/150 mm 100/150 mm
         工藝應用  支持LED PAD/PSS工藝 支持LED PAD工藝 支持LED PAD工藝

         可選配置

         背面對準和可變狹縫(Variable Slit)

         背面對準和可變狹縫(Variable Slit)

         背面對準和可變狹縫(Variable Slit)

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