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      1. 600系列光刻機 —— IC前道制造


        SSA600/20

        SSC600/10

        SSB600/10

        SSX600系列步進掃描投影光刻機采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應調焦調平技術,以及高速高精的自減振六自由度工件臺掩模臺技術,可滿足IC前道制造90nm、110nm、280nm關鍵層和非關鍵層的光刻工藝需求。該設備可用于8寸線或12寸線的大規模工業生產。
           主要技術參數
         型號  SSA600/20  SSC600/10  SSB600/10
         分辨率  90nm  110nm  280nm
         曝光光源  ArF excimer laser  KrF excimer laser  i-line mercury lamp
         鏡頭倍率  1:4  1:4  1:4
         硅片尺寸  200mm或300mm  200mm或300mm  200mm或300mm
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